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SiliNOx

SiliNOx

Les systèmes SiliNOx, sont employés pour nettoyer des concentrations de NOx  élevées à grande fluctuation. Une des applications est  le nettoyage de matières suite à un procédé de « Wet etching » dans la fabrication de cônes ou de wafer de silice. Le SiliNOx reconnaît les concentrations de NOx et les nettoie grâce à un conditionnement flexible de l’électricité de l’air d’échappement et les fluctuations baissent. Les systèmes SiliNOx peuvent être combinés à des systèmes d’épurateur acides ou basiques.   Des systèmes de contrôle et de mesure intelligents garantissent ici le maintien des valeurs de gaz pur souhaités. Les systèmes SiliNox sont disponibles, peu coûteux et ont une grande longévité. C’est une garantie pour les matériaux à haute valeur ajoutée ainsi que les composants qui ont fait leur preuve.

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