SiliNOx

SiliNOx-Systeme werden eingesetzt um hohe NOx-Konzentrationen mit starken Schwankungen (Peaks) abzureinigen. Ein Anwendungsbereich ist die Abreinigung von Stoffströmen nach einem Wet-Etching-Prozess in der Herstellung von Silizium-Ingots oder Wafern. SiliNOx erkennt die NOx-Konzentrationen und reinigt mittels einer flexiblen Konditionierung des Abluftstromes die Schwankungen (Peaks) sicher ab. Nach Anforderung der Stoffströme können SiliNOx-Systeme mit sauren oder basischen Wäschersystemen kombiniert werden. Intelligente Steuerungs-/Mess-Systeme garantieren hier eine Einhaltung der geforderten Reingaswerte. SiliNOx-Systeme zeichnen sich durch hohe Verfügbarkeit, geringe Betriebskosten, Langlebigkeit und sehr hohe Verfügbarkeiten aus. Der Einsatz hochwertiger Materialien und erprobter Komponenten stellt dies sicher.

SiliNOx Anlagenprospekt

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