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SiliNOx

SiliNOx

SiliNOx 系统是用于清理高浓度的NOx的系统。应用之一是对硅锭或晶片的湿蚀刻工艺后材料的清洗。SiliNOx可以判断出NOx的浓度通过废气流的灵活条件达到净化的目的。根据材料流的需求,SiliNOx系统也可以合并入酸洗或碱洗的系统中去。智能控制/测量系统能保证监测所需的纯净气体水平。SiliNOx 系统可以根据高水平的可用性和耐用性及低运营成本被定制。因为我们采用高质量的材料和久经测试的零部件,所以我们能够保证这一点。

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